[实用新型]一种晶圆蒸镀中的防护组件有效
| 申请号： | 202021672341.0 | 申请日： | 2020-08-12 |
| 公开（公告）号： | CN212925148U | 公开（公告）日： | 2021-04-09 |
| 发明（设计）人： | 姚力军;边逸军;潘杰;王学泽;邵锦钟;昝小磊 | 申请（专利权）人： | 宁波江丰电子材料股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/50 |
| 代理公司： | 北京远智汇知识产权代理有限公司 11659 | 代理人： | 王岩 |
| 地址： | 315400 浙江省宁波市*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种晶圆蒸镀中的防护组件，所述晶圆蒸镀中的防护组件包括圆盘、阻隔件及圆环；所述圆环的内径和所述圆盘的外径相同；所述圆环内壁设置有支撑环；所述圆盘与圆环相配合的一面设置有凹槽和环形槽；所述环形槽的最大直径等于晶圆的直径；所述环形槽围绕所述凹槽设置；所述阻隔件设置于所述环形槽内；所述阻隔件最小垂直高度大于所述环形槽的最大垂直深度；所述凹槽的底面低于所述阻隔件安装后最高点所在水平面。本实用新型提供的晶圆蒸镀中的防护组件通过设置阻隔件实现了晶圆和不锈钢环之间不会发生相对位移，也保证了圆盘不会和晶圆接触，从而解决了蒸镀过程中晶圆划伤和被污染的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 晶圆蒸镀 中的 防护 组件 | ||
【主权项】：
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