[实用新型]ITO平面靶材清洗固定装置有效
| 申请号： | 202021675947.X | 申请日： | 2020-08-12 |
| 公开（公告）号： | CN213613021U | 公开（公告）日： | 2021-07-06 |
| 发明（设计）人： | 柯尚文;周传水;李隽;余永强 | 申请（专利权）人： | 广东凯盛光伏技术研究院有限公司;中建材蚌埠玻璃工业设计研究院有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/12 | 分类号： | B08B3/12;B08B13/00 |
| 代理公司： | 广州嘉权专利商标事务所有限公司 44205 | 代理人： | 薛建强 |
| 地址： | 528137 广东省*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种ITO平面靶材清洗固定装置，包括侧板、固定架、底杆；所述侧板采用两片且分列于两侧，所述侧板上部设有手提孔；本清洗固定装置使用时,将板状的ITO平面靶材的一端从上固定架的两根相邻的纵杆之间插入，再插入下固定架的两根相邻的纵杆之间，装载完毕后，通过手提孔，将装载有ITO平面靶材的本清洗固定装置放进超声清洗池中，浸没在清洗介质中进行清洗工序，清洗完后，ITO平面靶材表面无油渍无粉尘，无崩角，无开裂。 | ||
| 搜索关键词： | ito 平面 清洗 固定 装置 | ||
【主权项】：
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