[实用新型]一种靶材组件有效
| 申请号： | 202021677102.4 | 申请日： | 2020-08-12 |
| 公开（公告）号： | CN214327865U | 公开（公告）日： | 2021-10-01 |
| 发明（设计）人： | 姚力军;边逸军;潘杰;王学泽;董志清 | 申请（专利权）人： | 宁波江丰电子材料股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 北京远智汇知识产权代理有限公司 11659 | 代理人： | 王岩 |
| 地址： | 315400 浙江省杭州市*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种靶材组件，所述靶材组件中靶材的溅射端面设置有花纹环；所述花纹环中的花纹为网状花纹；所述花纹环的外径等于所述靶材的外径。本实用新型提供的靶材组件通过对靶材的反溅射面设置新的花纹，进一步增强反溅射区域对粒子的附着力，有效延长产品使用寿命，避免反溅射区域附着物脱落，导致损坏晶圆。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 组件 | ||
【主权项】：
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