[实用新型]一种用于激光剥蚀系统的报警装置有效

专利信息
申请号: 202021680349.1 申请日: 2020-08-13
公开(公告)号: CN212541559U 公开(公告)日: 2021-02-12
发明(设计)人: 刘朋;李照洋;任德馨;陈微言;胡勇刚 申请(专利权)人: 上海凯来仪器有限公司;上海凯来谱科技有限公司
主分类号: G08B25/10 分类号: G08B25/10;G01N27/626
代理公司: 深圳市创富知识产权代理有限公司 44367 代理人: 于睿虬
地址: 201306 上海市浦东新区*** 国省代码: 上海;31
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摘要: 实用新型公开了一种用于激光剥蚀系统的报警装置,包括控制器、光电感应器、手机通讯模块和报警模块,所述光电感应器设置在电感耦合等离子体质谱仪的进样位置,所述控制器分别与光电感应器、手机通讯模块、报警模块、激光剥蚀仪、电感耦合等离子体质谱仪电性连接。本实用新型能够实现激光剥蚀仪与电感耦合等离子体质谱仪联用时,不同仪器组合的相互通讯和报警功能,当电感耦合等离子体质谱仪熄火时,能够及时停止激光剥蚀系统,减少激光及气体的消耗,节约与保护了剥蚀样品,并通过报警模块和手机通讯模块及时通知操作人员,提高了仪器及操作人员的工作效率。
搜索关键词: 一种 用于 激光 剥蚀 系统 报警装置
【主权项】:
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