[实用新型]一种绷膜环晶圆磁铁吸附平台

摘要

本实用新型公开了一种绷膜环晶圆磁铁吸附平台，包括第一导轨、第二导轨、工作台、底板、分隔板、支撑柱、第一安装板、电磁铁柱、限位凸起、推动气缸、第一斜块、第一滑轮、第二滑轮、第二斜块、第一拖链、第二拖链、铁环、支撑杆、滑轨、第二安装板、限位柱和连接板，所述第二导轨的一侧安装有第一拖链，所述第二导轨上安装有第一气缸，所述第一导轨上安装有滑块，且滑块的顶端与第二安装板的底端中心处固定连接，该实用新型，利用安装的电磁铁柱是电磁铁柱与铁环固定连接，进而对放置在铁环上的晶圆进行固定，改变了传统中采用真空进行吸附固定的方式，降低了电量的损耗，同时降低了晶圆的损坏率。