[实用新型]一种基于MEMS工艺的间隙波导功分器有效
| 申请号： | 202021690934.X | 申请日： | 2020-08-14 |
| 公开（公告）号： | CN213026440U | 公开（公告）日： | 2021-04-20 |
| 发明（设计）人： | 王昊;王岩;徐达龙;权双龙;徐文文 | 申请（专利权）人： | 南京理工雷鹰电子科技有限公司 |
| 主分类号： | H01P5/12 | 分类号： | H01P5/12 |
| 代理公司： | 南京禹为知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 32272 | 代理人： | 刘小莉 |
| 地址： | 210094 江苏省南京市秦淮区*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型提供一种基于MEMS工艺的间隙波导功分器，其包括下层板，所述下层板上竖直设置有矩形柱，以及T形路径，所述矩形柱沿所述T形路径外侧边均匀分布形成阻隔壁，所述下层板上设置有调谐柱，所述矩形柱上方设置有上层板；本实用新型采用MEMS半导体加工工艺代替传统的纯金属结构，在拥有更高的加工精度的同时，减少了金属用量，降低了功分器的重量，实现了结构的轻量化。另一方面基于MEMS工艺的功分器所使用的的介质基底与集成电路相同，易于与其它器件集成在一起。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 mems 工艺 间隙 波导 功分器 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于南京理工雷鹰电子科技有限公司，未经南京理工雷鹰电子科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202021690934.X/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种下料装置
- 下一篇：一种车轮安装辅助工装台
