[实用新型]一种晶圆棒周转装置有效
| 申请号： | 202021695431.1 | 申请日： | 2020-08-14 |
| 公开（公告）号： | CN213228812U | 公开（公告）日： | 2021-05-18 |
| 发明（设计）人： | 王连文;张强;娄中士;王立刚;郝小龙;王淼;周宏邦;贾海洋;李仕权 | 申请（专利权）人： | 内蒙古中环领先半导体材料有限公司 |
| 主分类号： | B62B3/10 | 分类号： | B62B3/10;B62B3/04;B62B5/00 |
| 代理公司： | 天津诺德知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 12213 | 代理人： | 栾志超 |
| 地址： | 010070 内蒙古自*** | 国省代码： | 内蒙古;15 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种晶圆棒周转装置，具有架体和置于所述架体上端面用于放置晶圆棒的若干放置槽，还具有：至少设置在两个所述放置槽上端面的滑轮件；以及用于固定所述晶圆棒的固定带；所述滑轮件被相对设置于所述放置槽上端面两内侧面，并与所述晶圆棒外壁接触；靠近所述晶圆棒底部一侧的两个所述滑轮件与所述晶圆棒的连接点与所述晶圆棒的切线夹角为锐角或直角；所述固定带被设置在所述放置槽宽度两侧；推动所述晶圆棒，并使其在所述滑轮件上沿所述架体长度方向水平滑动。本实用新型周转装置，可沿周转装置的长度方向自由地水平推移晶圆棒，并可将晶圆棒稳定地固定在周转装置上；提升晶圆棒移动运输的灵活性，节约运输调整时间。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 晶圆棒 周转 装置 | ||
【主权项】：
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