[实用新型]一种单晶炉导流筒固定装置及运输机构有效

专利信息
申请号: 202021695449.1 申请日: 2020-08-14
公开(公告)号: CN213232569U 公开(公告)日: 2021-05-18
发明(设计)人: 田宇翔;娄中士;袁长宏;李鹏飞;田旭东;马飞 申请(专利权)人: 内蒙古中环领先半导体材料有限公司
主分类号: C30B15/00 分类号: C30B15/00
代理公司: 天津诺德知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 12213 代理人: 栾志超
地址: 010070 内蒙古自*** 国省代码: 内蒙古;15
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摘要: 实用新型提供一种单晶炉导流筒固定装置,包括顶架、底架和连接所述顶架和所述底架的支杆组件,所述顶架与所述导流筒外壁相适配;所述导流筒被设置为贯穿所述顶架,并被内置于所述支杆组件围成的空间内悬空设置。本实用新型还提出一种包括该固定装置的运输机构。本实用新型固定装置,可稳固承载放置导流筒,并可保护导流筒整体的完整性,仅仅需要更换不同尺寸的顶架即可放置不同尺寸的导流筒,结构简单且易于加工,成本低且实用性强,使得整体拆卸导流筒的时间大大缩短。采用该固定装置的运输机构,易于操作且安全可控,使导流筒完整地被拆卸出单晶炉,不仅可避免在拆清过程中热场导流筒被损坏风险。
搜索关键词: 一种 单晶炉 导流 固定 装置 运输 机构
【主权项】:
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