[实用新型]一种单晶炉导流筒固定装置及运输机构有效
申请号: | 202021695449.1 | 申请日: | 2020-08-14 |
公开(公告)号: | CN213232569U | 公开(公告)日: | 2021-05-18 |
发明(设计)人: | 田宇翔;娄中士;袁长宏;李鹏飞;田旭东;马飞 | 申请(专利权)人: | 内蒙古中环领先半导体材料有限公司 |
主分类号: | C30B15/00 | 分类号: | C30B15/00 |
代理公司: | 天津诺德知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 12213 | 代理人: | 栾志超 |
地址: | 010070 内蒙古自*** | 国省代码: | 内蒙古;15 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本实用新型提供一种单晶炉导流筒固定装置,包括顶架、底架和连接所述顶架和所述底架的支杆组件,所述顶架与所述导流筒外壁相适配;所述导流筒被设置为贯穿所述顶架,并被内置于所述支杆组件围成的空间内悬空设置。本实用新型还提出一种包括该固定装置的运输机构。本实用新型固定装置,可稳固承载放置导流筒,并可保护导流筒整体的完整性,仅仅需要更换不同尺寸的顶架即可放置不同尺寸的导流筒,结构简单且易于加工,成本低且实用性强,使得整体拆卸导流筒的时间大大缩短。采用该固定装置的运输机构,易于操作且安全可控,使导流筒完整地被拆卸出单晶炉,不仅可避免在拆清过程中热场导流筒被损坏风险。 | ||
搜索关键词: | 一种 单晶炉 导流 固定 装置 运输 机构 | ||
【主权项】:
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于内蒙古中环领先半导体材料有限公司,未经内蒙古中环领先半导体材料有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/202021695449.1/,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇:一种晶圆棒周转装置
- 下一篇:一种堵头及设有该堵头的排气装置