[实用新型]一种单晶炉提拉头校准装置有效
申请号: | 202021696644.6 | 申请日: | 2020-08-14 |
公开(公告)号: | CN212865065U | 公开(公告)日: | 2021-04-02 |
发明(设计)人: | 李仕权;周宏邦;娄中士;王淼;张强;侯明超;张庆虎;郝朝旭;孔凯斌;王立刚;郝小龙 | 申请(专利权)人: | 内蒙古中环领先半导体材料有限公司 |
主分类号: | C30B15/20 | 分类号: | C30B15/20;C30B15/30;G01M1/12 |
代理公司: | 天津诺德知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 12213 | 代理人: | 栾志超 |
地址: | 010070 内蒙古自*** | 国省代码: | 内蒙古;15 |
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摘要: | 本实用新型提供一种单晶炉提拉头校准装置,包括:与重锤连接的固定部;校准部;以及用于连接所述固定部和所述校准部的连接部;所述固定部、所述连接部和所述校准部同轴心设置;所述校准部为锥形体结构且其小径端靠近所述连接部一侧设置;所述校准部大径端为平整平面。本实用新型设计的校准装置,可精准地对提拉头重心水平位置进行校准,保证其对中不发生偏移,校准效果好且校准效率高,无需过多其它装置配合即可完成提拉头的校准工作,结构简单且易于加工。 | ||
搜索关键词: | 一种 单晶炉提拉头 校准 装置 | ||
【主权项】:
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