[实用新型]一种全新的物理气相沉积铝腔体磁控装置有效
| 申请号： | 202021699819.9 | 申请日： | 2020-08-15 |
| 公开（公告）号： | CN212925154U | 公开（公告）日： | 2021-04-09 |
| 发明（设计）人： | 刘祥超 | 申请（专利权）人： | 上海知昊电子科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 上海领洋专利代理事务所(普通合伙) 31292 | 代理人： | 俞晨波 |
| 地址： | 201202 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种全新的物理气相沉积铝腔体磁控装置，包括磁控装置，磁控装置由齿轮一、齿轮二、齿轮三和永磁体组成，齿轮一的中部安装有连接杆，连接杆的内侧设置有驱动电机且外端连接有支撑杆一，驱动电机的动力输出端与连接杆相连接，支撑杆一的外端安装有配重块一，配重块一位于齿轮一的外侧，齿轮一与上方的齿轮二啮合，齿轮二与右侧的齿轮三相啮合，齿轮三的外侧水平安装有支撑杆二，支撑杆二的内端安装有配重块二且外端与永磁体相连接，配重块二位于齿轮三的正上方，永磁体位于齿轮三的外侧。本实用新型对物理气相沉积铝腔体的磁控装置进行了改进，磁力线在靶材表面分布更均匀，从而提高靶材的利用率，节省生产成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 全新 物理 沉积 铝腔体磁控 装置 | ||
【主权项】：
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