[实用新型]一种全新的8英寸物理气相沉积钽腔体连接配件装置有效
| 申请号： | 202021699842.8 | 申请日： | 2020-08-15 |
| 公开（公告）号： | CN212925146U | 公开（公告）日： | 2021-04-09 |
| 发明（设计）人： | 刘祥超 | 申请（专利权）人： | 上海知昊电子科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/22 | 分类号： | C23C14/22 |
| 代理公司： | 上海领洋专利代理事务所(普通合伙) 31292 | 代理人： | 俞晨波 |
| 地址： | 201202 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种全新的8英寸物理气相沉积钽腔体连接配件装置，包括：连接台和连接柱，所述连接柱设置在连接台的一端且与连接台一体成型，所述连接柱和连接台均为柱形结构，所述连接台和连接柱的外壁上均匀刻制有刻花，所述刻花包括若干条倾斜相交的凸条，所述凸条相交形成若干个六边形结构的空腔，所述连接柱表面的空腔面积小于连接台表面的空腔面积。本实用新型通过在配件表面的刻花，增大接触面积，能粘附更多的附属物，同时分散这些附着物的应力分布，附着的附属物不容易剥落，减小颗粒产生的几率，提高制程的质量，延长腔体保养的周期，从而提高机器的使用率，减小成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 全新 英寸 物理 沉积 钽腔体 连接 配件 装置 | ||
【主权项】：
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