[实用新型]一种激光加工晶圆柔性夹持结构有效
| 申请号： | 202021701245.4 | 申请日： | 2020-08-16 |
| 公开（公告）号： | CN212946277U | 公开（公告）日： | 2021-04-13 |
| 发明（设计）人： | 巩铁建;陶为银 | 申请（专利权）人： | 河南通用智能装备有限公司 |
| 主分类号： | B23K37/04 | 分类号： | B23K37/04;B23K26/70 |
| 代理公司： | 郑州中原专利事务所有限公司 41109 | 代理人： | 张春 |
| 地址： | 450001 河南省郑州市高新技术产业*** | 国省代码： | 河南;41 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型提供一种激光加工晶圆柔性夹持结构，包括滑动设置在机架的晶圆夹持机构，晶圆夹持机构包括上夹持板、下夹持板以及夹持气缸，夹持气缸与机架连接并带动上夹持板或者下夹持板任一移动使其夹持或者松开；上夹持板和下夹持板之间设置夹持板弹簧。通过调节夹持板弹簧的弹力可以调整上夹持板和下夹持板的夹持力。并且可以在夹持过程中提供缓冲，有效的保护晶圆托盘。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 激光 加工 柔性 夹持 结构 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于河南通用智能装备有限公司，未经河南通用智能装备有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202021701245.4/，转载请声明来源钻瓜专利网。
