[实用新型]一种氙气尾气的回收装置有效
申请号: | 202021701576.8 | 申请日: | 2020-08-16 |
公开(公告)号: | CN213011972U | 公开(公告)日: | 2021-04-20 |
发明(设计)人: | 陈国富;龚施健 | 申请(专利权)人: | 博纯材料股份有限公司 |
主分类号: | C01B23/00 | 分类号: | C01B23/00 |
代理公司: | 广州博士科创知识产权代理有限公司 44663 | 代理人: | 宋佳 |
地址: | 362617 福*** | 国省代码: | 福建;35 |
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摘要: | 本实用新型涉及氙气生产技术领域,具体公开一种氙气尾气的回收装置,其包括冷却装置、充氮装置及吸附装置,冷却装置设有进气管和吸附管,所述进气管用于通入待回收的氙气尾气,吸附装置包括依次连接的排废机构、固化吸附机构和回收机构,所述吸附管与排废机构之间连接有真空泵,且所述排废机构上设置有第一压力变送器,所述固化吸附机构设有充氮管,所述充氮管与所述充氮装置连接,且所述固化吸附机构里设置有第一吸附剂层,所述回收机构包括连接的压缩机和纯化器,所述纯化器通过回收管连接有回收容器,所述回收容器上设置有第二压力变送器。本实用新型解决现有技术中氙气尾气的回收装置的排废速率和回收速率不可调整且氙气回收效果差的问题。 | ||
搜索关键词: | 一种 氙气 尾气 回收 装置 | ||
【主权项】:
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