[实用新型]一种槽式高效烘干系统有效
| 申请号： | 202021710199.4 | 申请日： | 2020-08-17 |
| 公开（公告）号： | CN212512168U | 公开（公告）日： | 2021-02-09 |
| 发明（设计）人： | 陶俊;朱鹤囡;王瑞银 | 申请（专利权）人： | 无锡琨圣科技有限公司 |
| 主分类号： | F26B9/06 | 分类号： | F26B9/06;F26B25/14;F26B21/00 |
| 代理公司： | 北京科亿知识产权代理事务所(普通合伙) 11350 | 代理人： | 汤东凤 |
| 地址： | 214000 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型公开了一种槽式高效烘干系统，涉及硅片烘干设备领域，其中烘干槽采用PVDF材质，烘干槽设有主槽和副槽，副槽底部设有匀流管，匀流管内壁均匀分布小孔，加热装置将加热后的空气通过小孔均匀的送入槽内，槽盖两侧均匀分布孔洞，使得潮湿空气能够正常排出，加热装置置于烘干槽外部，上述设计改善了传统烘干槽槽壁因长期靠近高温灯管产生变形，喷氟物脱落导致的金属污染等问题，本实用新型烘干系统效率更高，能耗低，便于安装维护，烘干效果更好，能进一步缩短烘干时间提升产能。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 高效 烘干 系统 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于无锡琨圣科技有限公司，未经无锡琨圣科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202021710199.4/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种仿真汽车空调实验示教台
- 下一篇：一种散热器液体清除装置
