[实用新型]电磁式MEMS扭转微镜

摘要

本实用新型涉及一种电磁式MEMS扭转微镜，其包括基板、支撑结构和线圈；基板上设置有微镜镜面，所述基板设置在所述支撑结构上，所述支撑结构支撑所述微镜镜面，所述线圈设置在电路板上，所述电路板与所述线圈连接，为所述线圈通电；所述支撑结构包括扭梁和支撑柱，所述支撑柱为圆柱体，其设置在所述电路板上，所述支撑柱的上端与所述扭梁的一端连接，所述扭梁设置有两个，对称设置在所述基板的侧面，所述基板悬挂在所述扭梁的另一端上。扭梁连接有基板，扭梁在外部洛仑兹力的作用下，发生轻微扭动时带动微镜进行角度的偏移，从而带动微镜镜面的转动，而控制洛仑兹力的大小则可以间接控制镜面转动的角度，为了实现对镜面角度的精确控制。