[实用新型]一种PBN坩埚烘干装置有效
| 申请号： | 202021716696.5 | 申请日： | 2020-08-17 |
| 公开（公告）号： | CN213652731U | 公开（公告）日： | 2021-07-09 |
| 发明（设计）人： | 齐正阳;李房斌;周铁军;白平平 | 申请（专利权）人： | 广东先导先进材料股份有限公司 |
| 主分类号： | C30B35/00 | 分类号： | C30B35/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 511517 广东省清*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型揭示了一种PBN坩埚烘干装置，包括内管、中间管、外管三层结构，所述中间管设置在内管和外管之间，所述中间管环绕设置加热线圈，所述内管为中空的圆筒结构，所述内管的两端分别设有第一法兰和第二法兰，所述第一法兰上设有进气气动阀，所述第二法兰上设有出气气动阀。为解决了现有技术处理PBN坩埚存在能耗大和坩埚寿命短的技术问题，现提出一种新的技术路线处理PBN坩埚：首先将PBN坩埚浸润高纯硼酸溶液，然后对充分浸润高纯硼酸溶液的PBN坩埚做烘干处理。基于处理PBN坩埚的新技术路线，本实用新型正是为解决对充分浸润高纯硼酸溶液的PBN坩埚做烘干处理而提出的一种新的技术方案。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 pbn 坩埚 烘干 装置 | ||
【主权项】：
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