[实用新型]一种抗氧化的石墨舟有效
申请号: | 202021723370.5 | 申请日: | 2020-08-18 |
公开(公告)号: | CN212587464U | 公开(公告)日: | 2021-02-23 |
发明(设计)人: | 何军 | 申请(专利权)人: | 无锡鼎桥新能源科技有限公司 |
主分类号: | H01L21/673 | 分类号: | H01L21/673 |
代理公司: | 无锡睿升知识产权代理事务所(普通合伙) 32376 | 代理人: | 张悦 |
地址: | 214116 江苏省无锡*** | 国省代码: | 江苏;32 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本实用新型公开了一种抗氧化的石墨舟,包括多个舟片和多个密封块,所述舟片的一侧开设有多个安装孔,安装孔内活动连接有陶瓷管,陶瓷管的两端设置有螺纹,螺纹的一侧固定连接有固定件,所述密封块的一侧开设有两个螺纹孔,螺纹孔内固定连接有双向螺杆,且双向螺杆的另一端与另一个密封块固定连接,所述双向螺杆的一侧固定连接有螺母,所述舟片的一侧开设有多个安装槽,且密封块的一侧与安装槽相接触。本实用新型能够增加石墨舟的抗氧化性,从而减少人员对石墨舟的清洗次数,降低了使用成本,避免产品在加工时被黑色碳化物污染,同时能够使产品在放置时更加快速、准确,提高人员的工作效率和产品的品质。 | ||
搜索关键词: | 一种 氧化 石墨 | ||
【主权项】:
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造