[实用新型]MOCVD固态掺杂金属有机化合物的封装容器

摘要

本实用新型提供一种MOCVD固态掺杂金属有机化合物的封装容器，其应用于容置固体金属有机化合物，所述固体金属有机化合物为二茂镁，其包含瓶体、进气接口及出气管。瓶体内部具有容置空间，以容置固体金属有机化合物。进气接口设置于瓶体的顶部以连通容置空间，且进气接口连接进气管；进气管连接载气源。出气管的一端由瓶体的顶部穿入容置空间中，且出气管的一端邻近于容置空间的底部，出气管的另一端连接金属有机化学气相沉积制程设备。其中，瓶体的内径与容置空间的高度具有特定的比值。本实用新型通过上述结构配置，可在提高稳定蒸气气压的同时，提高固体金属有机化合物的使用效率，并减少固体金属有机化合物剩余的浪费。