[实用新型]一种用于石英坩埚生产的喷涂装置有效
申请号: | 202021735283.1 | 申请日: | 2020-08-19 |
公开(公告)号: | CN213349399U | 公开(公告)日: | 2021-06-04 |
发明(设计)人: | 张国忠;高文送;汪涵;朱海江;李国洪;朱燕亚 | 申请(专利权)人: | 无锡市尚领石英科技有限公司 |
主分类号: | B05B13/02 | 分类号: | B05B13/02;B05B13/06;B05B12/08 |
代理公司: | 江阴市轻舟专利代理事务所(普通合伙) 32380 | 代理人: | 孙燕波 |
地址: | 214406 江苏省无锡*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种用于石英坩埚生产的喷涂装置,涉及石英坩埚生产技术领域。本实用新型包括上座体、下座体、第一喷涂组件和第二喷涂组件,下座体顶部通过行星齿轮机构转动连接有转环,下座体轴心处开设有开口,上座体通过若干连接板固定在下座体上部。本实用新型通过设计新型的喷涂装置,能够选择性的对坩埚内壁和外壁进行喷涂,同时通过设置第一喷涂组件和第二喷涂组件,并在第一喷涂管、第二喷涂管和横向喷涂管上设置连接管连接喷涂头,使用连接管上的流量阀控制喷涂头的流量,从而间接的控制喷涂头的压力,从而保证喷涂装置喷涂时的均匀性,提高了喷涂装置的喷涂效率和喷涂效果。 | ||
搜索关键词: | 一种 用于 石英 坩埚 生产 喷涂 装置 | ||
【主权项】:
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