[实用新型]一种化学气相沉积设备气体分配器结构

摘要

本实用新型涉及化学气相沉积设备技术领域，具体涉及一种化学气相沉积设备气体分配器结构，包括壳体，壳体的顶部外侧设有固定环，固定环的外壁周向设有四组固定耳板，固定环的内壁开设有第一密封槽，壳体的顶部内侧开设有第二密封槽，壳体的内腔底部均匀开设有分配气孔，本实用新型提供了一种化学气相沉积设备气体分配器结构，通过一系列结构的设计和使用，解决了大多密封效果差，导致通入分配器内腔内的工艺气体会发生泄漏现象，同时不能达到对工艺气体流动时产生的噪音进行吸音降噪的目的，而且耐腐蚀性能较差的问题。