[实用新型]一种金属部件的熔射保护治具有效
申请号: | 202021738482.8 | 申请日: | 2020-08-19 |
公开(公告)号: | CN212725226U | 公开(公告)日: | 2021-03-16 |
发明(设计)人: | 穆帅帅;张代龙;马有杰;贺贤汉 | 申请(专利权)人: | 富乐德科技发展(天津)有限公司 |
主分类号: | H01J37/32 | 分类号: | H01J37/32;C23C14/04 |
代理公司: | 天津市新天方专利代理有限责任公司 12104 | 代理人: | 孔珍 |
地址: | 301712 天津*** | 国省代码: | 天津;12 |
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摘要: | 本实用新型是一种金属部件的熔射保护治具,包括底座,其特征在于,底座上竖直固接有支撑圆杆,支撑圆杆上由上到下设有若干组产品连接机构,每组产品连接机构上均连有产品部件,产品部件套置在支撑圆杆上,产品部件的顶端面与上阻挡圆盘接触。本实用新型通过在支撑圆杆上由上到下设置若干安有下阻挡圆盘和上阻挡圆盘的产品连接机构,对半导体设备外部防护帽的非沉积区域进行遮蔽,与常规采用胶带进行遮蔽部件外部防护帽相比,解决了保护边缘不齐,有残胶的问题,便于同时对多个部件外部防护帽进行熔射作业,提高了熔射效率,与部件外部防护帽贴合紧密,遮蔽精度高,安装方便,利于反复使用。 | ||
搜索关键词: | 一种 金属 部件 保护 | ||
【主权项】:
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