[实用新型]一种多工位单晶硅双面抛光装置有效
| 申请号： | 202021749233.9 | 申请日： | 2020-08-20 |
| 公开（公告）号： | CN213106225U | 公开（公告）日： | 2021-05-04 |
| 发明（设计）人： | 陈峰 | 申请（专利权）人： | 浙江众晶电子有限公司 |
| 主分类号： | B24B29/02 | 分类号： | B24B29/02;B24B27/033;B24B41/06;B24B47/12 |
| 代理公司： | 温州青科专利代理事务所(特殊普通合伙) 33390 | 代理人： | 钱磊 |
| 地址： | 324302 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种多工位单晶硅双面抛光装置，包括U型支撑架、液压缸和抛光机构，所述U型支撑架的上端固定连接有液压缸，且U型支撑架的架内上部设置有抛光机构，所述抛光机构与液压缸下端伸缩杆相连接，所述U型支撑架的架内中间处连接有旋转安装架，且旋转安装架包括安装环、第一连接头、第二连接头、内环、固定条和第一定位夹具安装板。本实用新型所述的一种多工位单晶硅双面抛光装置，属于单晶硅抛光机领域，采用安装环、连接头与U型支撑架外部安装的驱动电机相连接，能够实现安装环和内环的旋转，通过内环与连接支撑架相连接；通过连接支撑架设置的连接架，方便拆卸电动推杆、定位夹具安装板，方便对连接支撑架进行检修。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 多工位 单晶硅 双面 抛光 装置 | ||
【主权项】：
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