[实用新型]MEMS麦克风有效
| 申请号： | 202021755281.9 | 申请日： | 2020-08-19 |
| 公开（公告）号： | CN212435931U | 公开（公告）日： | 2021-01-29 |
| 发明（设计）人： | 周延青;胡铁刚;潘华兵 | 申请（专利权）人： | 杭州士兰微电子股份有限公司 |
| 主分类号： | H04R19/04 | 分类号： | H04R19/04 |
| 代理公司： | 上海思捷知识产权代理有限公司 31295 | 代理人： | 王宏婧 |
| 地址： | 310012*** | 国省代码： | 浙江;33 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型提供了一种MEMS麦克风，衬底上的支撑墙体围合成一空腔，振动膜悬于空腔内且边缘延伸至支撑墙体内实现固定。背板结构上的释放孔阵列包括多个贯穿背板结构并与空腔连通的释放孔，在通过释放孔阵列释放牺牲层形成支撑墙体的过程中，支撑墙体的内壁的轮廓会跟随最外圈释放孔靠近支撑墙体的一侧的轮廓。将释放孔阵列中最外圈释放孔配置为背向释放孔阵列的中心的第二侧较面向释放孔阵列的中心的第一侧更平坦，从而平滑支撑墙体内壁的轮廓，抑制尖角的形成，防止尖角戳破振动膜而导致振动膜脱落，提高器件的寿命和可靠性。 | ||
| 搜索关键词： | mems 麦克风 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于杭州士兰微电子股份有限公司，未经杭州士兰微电子股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202021755281.9/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种无胶筒金属密封可溶桥塞
- 下一篇：生物反应器及其亲水内衬
