[实用新型]一种半导体检测用可旋转的激光测量仪有效

专利信息
申请号: 202021763865.0 申请日: 2020-08-21
公开(公告)号: CN213238770U 公开(公告)日: 2021-05-18
发明(设计)人: 谢泽宇;李随群 申请(专利权)人: 李随群
主分类号: G01B11/00 分类号: G01B11/00;G01N21/84;H01L21/66
代理公司: 深圳科湾知识产权代理事务所(普通合伙) 44585 代理人: 杨艳霞
地址: 510000 广东省*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 实用新型公开了一种半导体检测用可旋转的激光测量仪,包括箱体,所述箱体内腔底部的轴心处通过轴承活动连接有螺纹杆,所述螺纹杆的顶部螺纹连接有螺纹管,所述螺纹管的顶部贯穿箱体的内腔并延伸至箱体的外部,所述螺纹管的顶部固定连接有壳体,所述壳体底部的两侧均固定连接有限位杆。本实用新型通过箱体、螺纹杆、螺纹管、壳体、限位杆、第一电机、第一齿轮、第二齿轮、转杆、从动齿轮、第二电机、主动齿轮、操作台和测量仪本体的配合使用,能够有效的解决传统半导体检测用激光测量仪不具备旋转功能的问题,该装置方便对擦作台进行旋转,从而为半导体检测提供更加便捷的使用方式,同时可调节高度,易于操作。
搜索关键词: 一种 半导体 检测 旋转 激光 测量仪
【主权项】:
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