[实用新型]一种小型化腔体及蒸发台设备有效
| 申请号： | 202021766537.6 | 申请日： | 2020-08-21 |
| 公开（公告）号： | CN213652623U | 公开（公告）日： | 2021-07-09 |
| 发明（设计）人： | 张军委;王福平 | 申请（专利权）人： | 爱发科真空技术（苏州）有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24 |
| 代理公司： | 北京同恒源知识产权代理有限公司 11275 | 代理人： | 阴知见 |
| 地址： | 215000 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种小型化腔体及蒸发台设备，包括：第一腔体；第二腔体，所述第二腔体设置于所述第一腔体底部中心处；其中，所述第二腔体与所述第二腔体相互连通，且，所述第二腔体的体积小于所述第一腔体的体积；还包括衬底载体与蒸发源；所述衬底载体设置于所述第一腔体内侧顶部，所述蒸发源设置于所述第二腔体内侧底部。本实用新型第一腔体与第二腔体相互配合，蒸发的气体依次经过第二腔体、第一腔体以接力的方式呈球面状向外扩散，来满足扩散尺寸的要求，使得所需真空腔体尺寸规格有效减小，设备内部容积大幅度降低，从而使得真空泵抽气能力要求有效降低，抽气所需时间及破真空所需时间大幅度减小，设备制作成本大幅度降低。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 小型化 蒸发 设备 | ||
【主权项】：
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