[实用新型]一种进气管及扩散炉有效
| 申请号： | 202021771446.1 | 申请日： | 2020-08-21 |
| 公开（公告）号： | CN212800603U | 公开（公告）日： | 2021-03-26 |
| 发明（设计）人： | 朱波;王林;彭彪;顾峰;陈敬伟;胡艳玲 | 申请（专利权）人： | 通威太阳能（合肥）有限公司 |
| 主分类号： | C30B31/16 | 分类号： | C30B31/16;H01L31/18 |
| 代理公司： | 安徽知问律师事务所 34134 | 代理人： | 代群群 |
| 地址： | 230000 安徽*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及太阳能电池生产加工领域，具体地，涉及一种用于太阳能电池生产中工艺气体扩散的进气管及扩散炉。本实用新型要解决的技术问题是炉口进气管易导致低压扩散，分流进入硅片的上/下部，使得沉积较多、方阻较低的下部方阻更低，均匀性差。本申请通过设置在密封端的出气口，以及进气管本体上设补气孔，补气孔至少为1对，沿进气管本体径向方向设置，并在进气管本体同一径向横截面上，提高了扩散的片子的磷源均匀性，使得扩散方阻和方差得以改善，对电池片的效能也有提高，更有助于扩散的片子形成良好的PN结，以便提升太阳能电池片的电性能。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 气管 扩散 | ||
【主权项】：
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