[实用新型]手动撕膜机有效
| 申请号： | 202021775240.6 | 申请日： | 2020-08-21 |
| 公开（公告）号： | CN213007028U | 公开（公告）日： | 2021-04-20 |
| 发明（设计）人： | 朱冬成 | 申请（专利权）人： | 南通斯康泰智能装备有限公司 |
| 主分类号： | B32B43/00 | 分类号： | B32B43/00 |
| 代理公司： | 南京钟山专利代理有限公司 32252 | 代理人： | 刘林峰 |
| 地址： | 226000 江苏省南通市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了手动撕膜机，涉及半导体制造辅助设备技术领域，解决了现有的作业方法手撕膜会使铜片变形、损伤，容易折弯基板，产生芯片内部缺陷的问题。包括安装板，所述安装板上设有若干托板组，每个托板组包括固定托板和固定托板两侧的活动托板，活动托板沿靠近或远离固定托板方向滑移连接于安装板上，安装板上连接有用于固顶活动托板位置的固定件；活动托板与固定托板上皆连接有若干吸嘴，所述吸嘴连接于真空发生器，真空发生器供气口连接有气源、控制气源与真空发生器之间气路通断的手动开关。达到了保证基板平整度，操作简单，结构简单，运行稳定、成本低廉，杜绝撕膜过程中造成的基板和芯片损伤，兼容不同尺寸的铜片，通用性高的效果。 | ||
| 搜索关键词： | 手动 撕膜机 | ||
【主权项】：
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