[实用新型]抽空管道在线自清洁装置有效
| 申请号： | 202021782664.5 | 申请日： | 2020-08-24 |
| 公开（公告）号： | CN212533203U | 公开（公告）日： | 2021-02-12 |
| 发明（设计）人： | 曹玉宝;尹嘉琦;王学卫;徐永胜;王明升 | 申请（专利权）人： | 连城凯克斯科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B29/06 | 分类号： | C30B29/06;C30B35/00;B08B9/051;F04B39/12 |
| 代理公司： | 大连东方专利代理有限责任公司 21212 | 代理人： | 李洪福 |
| 地址： | 214000 江苏省无锡*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种抽空管道在线自清洁装置，所述自清洁装置设置在硅单晶炉的真空抽空管道上，且所述自清洁装置靠近所述真空抽空管道的入口处，所述真空抽空管道上开设有穿入孔；所述自清洁装置包括通过所述穿入孔穿入所述真空抽空管道内的搅拌清洁装置和设置在所述真空抽空管道外，并驱动所述搅拌清洁装置工作的驱动机构。本实用新型能够在硅单晶炉正常运行状态下，驱动减速电机，带动搅拌清洁装置旋转，切割搅拌附着在真空抽空管道入口段内壁的杂质或挥发物，使所述杂质或挥发物脱离所述真空抽空管道内壁，并受真空泵组抽空负压力作用，所述杂质或挥发物流向过滤器和真空泵组、远离真空炉室，起到在线自清洁的作用。 | ||
| 搜索关键词： | 抽空 管道 在线 清洁 装置 | ||
【主权项】：
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