[实用新型]一种五轴真空位移台有效
| 申请号： | 202021785249.5 | 申请日： | 2020-08-25 |
| 公开（公告）号： | CN213302258U | 公开（公告）日： | 2021-05-28 |
| 发明（设计）人： | 董国材;张祥;梁枫;张金龙 | 申请（专利权）人： | 国成仪器（常州）有限公司 |
| 主分类号： | G01N35/10 | 分类号： | G01N35/10 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 213000 江苏省常*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及真空设备,具体是一种五轴真空位移台，X向位移板与Y向位移板之间滑动连接，X向位移板或Y向位移板与压板之间滑动连接，并分别装有X向和Y向调整装置，X向位移板或Y向位移板与波纹管一端焊接，波纹管另一端与法兰盘焊接，法兰盘与X向位移板或Y向位移板之间装有Z向调整螺杆，压板与旋转调整装置底端法兰连接，偏转调整装置底端与旋转调整装置法兰连接，本发明实现在超高真空环境下的样品的立体驱动，Z向采用焊接波纹管密封，达到放出气体少的要求，中空构造，同时X、Y、Z向直线滑驱动顺畅，X、Y、Z三个方向的驱动位置可精确控制,可针对不同的角度对样品进行旋转和偏转调整，易于操作。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 真空 位移 | ||
【主权项】：
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