[实用新型]一种物理气相沉积钽腔体用底座加热配件保护装置有效
| 申请号： | 202021787426.3 | 申请日： | 2020-08-25 |
| 公开（公告）号： | CN213172532U | 公开（公告）日： | 2021-05-11 |
| 发明（设计）人： | 刘祥超 | 申请（专利权）人： | 上海知昊电子科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/00 | 分类号： | C23C14/00 |
| 代理公司： | 北京中索知识产权代理有限公司 11640 | 代理人： | 郭瑞 |
| 地址： | 201203 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种物理气相沉积钽腔体用底座加热配件保护装置，涉及加热保护领域，针对气相沉积钽腔体的底座加热保护的问题，现提出如下方案，包括固定盒，所述固定盒的正面壳体内壁通过螺栓连接有驱动电机，所述驱动电机的输出轴固定连接有螺纹杆，所述螺纹杆靠近驱动电机的一端外圈转动套接有隔离板，所述隔离板的外壁周圈固定套接在固定盒的内壁周圈里，所述螺纹杆的外圈转动套接有螺纹套，所述螺纹套的左侧壳体外壁焊接有固定杆，所述固定杆的左端固定连接有连接块。本实用新型设计新颖，方便对气相沉积钽腔体的底座进行固定、加持，从而在对气相沉积钽腔体的底座进行加热的时候可以快速的安装，由此提高了效率，适合进行市场推广。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 物理 沉积 体用 底座 加热 配件 保护装置 | ||
【主权项】：
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