[实用新型]一种内置反应管分压式化学气相沉渗透镀膜装置

摘要

本实用新型公开了一种内置反应管分压式化学气相沉渗透镀膜装置，包括双层石英管，双层石英管包括外层石英管（1）和内层石英管（2），所述双层石英管首端以第一管路（24）连接氩气气源（14），所述双层石英管末端以第二管路（22）连接真空泵（20），其特征在于，双层石英管从首端到末端依次包括等离子体反应区、第一加热区和第二加热区，内层石英管（2）和外层石英管（1）首端对齐，内层石英管（2）末端延伸至第二加热区，所述等离子体反应区于外层石英管（1）外设置有等离子极栅（9），等离子极栅（9）连接射频电源（10）。该装置可以有效地在陶瓷基质复合材料内部形成多功能涂层，为过滤器提供高刚性和良好的耐化学性。