[实用新型]一种宽响应频带质点振速传感器有效
| 申请号： | 202021793629.3 | 申请日： | 2020-08-25 |
| 公开（公告）号： | CN212391112U | 公开（公告）日： | 2021-01-22 |
| 发明（设计）人： | 谢奕;刘云飞;周瑜;冯杰 | 申请（专利权）人： | 中国电子科技集团公司第三研究所 |
| 主分类号： | G01H17/00 | 分类号： | G01H17/00;B81B7/02 |
| 代理公司： | 北京天盾知识产权代理有限公司 11421 | 代理人： | 张彩珍 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种宽响应频带质点振速传感器，包括敏感元件，其特征在于，所述敏感元件(2)包括：衬底(21)，其上形成一桥孔(211)；和若干敏感丝(20)，平行置于所述桥孔(211)上；所述敏感丝(20)由上至下依次包括敏感材料层(206)和支撑层(205)，所述敏感材料层(206)为中空结构。本实用新型采用中空结构的敏感丝，降低敏感丝的等效密度，从而降低敏感丝的热质量，提升结构热交换速率，从而有效提升了传感器的响应频率上限，扩展了传感器的响应频带，且能够不失真地对宽频声音信号的质点振速进行探测。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 响应 频带 质点 传感器 | ||
【主权项】：
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