[实用新型]一种均匀镀膜钼舟有效
| 申请号： | 202021796248.0 | 申请日： | 2020-08-25 |
| 公开（公告）号： | CN213203178U | 公开（公告）日： | 2021-05-14 |
| 发明（设计）人： | 宫秀明;曾桂阳;王久文 | 申请（专利权）人： | 东莞泰岳光学镀膜材料有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24 |
| 代理公司： | 东莞市永邦知识产权代理事务所(普通合伙) 44474 | 代理人： | 陈保江 |
| 地址： | 523000 广东省东莞市长安镇*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种均匀镀膜钼舟，包括钼舟本体，钼舟本体包括内腔为四棱台型的舟舱，舟舱沿纵向的两个相对的侧壁内表面设有阶梯状结构，舟舱的两侧上端沿水平方向向外延伸有一体连接的舟翼，舟翼的两侧上端分别转动连接有左舟盖和右舟盖，左舟盖和右舟盖的底部分别固定连接有左引导板和右引导板，左引导板与右引导板的端部均与舟舱的两侧内壁相平行，左引导板的内部与右引导板的内部均开设有若干个引导通道，舟舱的顶部边缘固定有矩形密封块，矩形密封块分别与左舟盖和右舟盖相适配。本实用新型通过左引导板与右引导板以及移动通道和镀膜孔，能够引导镀膜蒸汽分别沿舟舱的内侧表面和引导通道向上移动，从而实现均匀镀膜。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 均匀 镀膜 | ||
【主权项】：
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