[实用新型]一种抛光结构有效
| 申请号： | 202021808324.5 | 申请日： | 2020-08-26 |
| 公开（公告）号： | CN212762876U | 公开（公告）日： | 2021-03-23 |
| 发明（设计）人： | 赵晟佑 | 申请（专利权）人： | 西安奕斯伟硅片技术有限公司 |
| 主分类号： | B24B41/04 | 分类号： | B24B41/04 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人： | 胡影;李红标 |
| 地址： | 710065 陕西省西安市*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种抛光结构，包括：驱动轴；连接盘，连接盘的上侧与驱动轴的下端相连；定盘，定盘的上侧与连接盘的下侧相连；抛光盘，抛光盘设在定盘的下侧，定盘的下侧与驱动轴对应的区域形成有圆形凹面，抛光盘上远离定盘的一侧设有容纳腔以容纳抛光垫。本实用新型的抛光结构中，在定盘的下侧与驱动轴对应的区域形成有圆形凹面，通过圆形凹面能够减小抛光盘上与驱动轴对应区域的压力，使得抛光盘承受的压力均匀，在抛光硅片时，能够减小硅片上中央部位的压力，使得硅片的中央部位与边缘部位的压力更加均匀，进而使得硅片的中央部位和边缘部位研磨的更均匀，提高硅片表面的平坦度，提高硅片的抛光质量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 抛光 结构 | ||
【主权项】：
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