[实用新型]一种静电放电机台温控装置有效
| 申请号： | 202021818396.8 | 申请日： | 2020-08-27 |
| 公开（公告）号： | CN212623776U | 公开（公告）日： | 2021-02-26 |
| 发明（设计）人： | 严祥平 | 申请（专利权）人： | 上海芯愿集成电路技术有限公司 |
| 主分类号： | G05D23/30 | 分类号： | G05D23/30;G01R1/04;G01R31/28 |
| 代理公司： | 上海首言专利代理事务所(普通合伙) 31360 | 代理人： | 苗绘 |
| 地址： | 201613 上海*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及集成电路测试技术领域，且公开了一种静电放电机台温控装置。该静电放电机台温控装置，包括机台主体、罩体、加热部件和制冷部件，所述机台主体的外壁上表面中心位置处固定安装有测试平台，所述测试平台的外壁上表面中心位置处固定安装有测试夹具，所述测试夹具的表面设置有测试样品，所述罩体的外壁下表面中心位置处固定安装有温度检测部件。该装置，使用时罩体罩住测试样品，通过温度检测部件检测测试样品温度，控制部件根据测试样品温度控制加热部件和制冷部件实现升温或降温操作，因此，其能够模拟测试样品正常工作时的温度状况，能够结合静电放电机台模拟测试测试样品正常工作时的抗静电能力。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 静电 放电 机台 温控 装置 | ||
【主权项】：
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