[实用新型]一种研磨液回收再利用系统有效
申请号: | 202021821167.1 | 申请日: | 2020-08-27 |
公开(公告)号: | CN213221668U | 公开(公告)日: | 2021-05-18 |
发明(设计)人: | 蒋陈峰;蒋虎;胡厚福 | 申请(专利权)人: | 冠礼控制科技(上海)有限公司 |
主分类号: | B01D61/00 | 分类号: | B01D61/00;B24B57/00 |
代理公司: | 上海精晟知识产权代理有限公司 31253 | 代理人: | 杨军 |
地址: | 200131 上海市浦东新区自由贸易*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本实用新型涉及一种研磨液回收再利用系统,包括废液收集处理装置组合体,废液收集处理装置组合体内部装设有PFA过滤膜组合体,废液收集处理装置组合体顶部的压力测试口处装设有压力传感器,废液收集处理装置组合体底端设有化学品进液口和化学品出液口,化学品进液口处设置的泄漏检测口处装设有泄漏传感器,化学品出液口通过PFA管道分别连接废液收集桶、回收混合桶槽主体,化学品出液口与废液收集桶之间的管道上装设有测量仪器仪表,压力传感器、泄漏传感器、测量仪器仪表分别通过线路连接PLC控制系统;本实用新型操作过程安全可靠,实现全自动操作,可由废液再生新液,减少新液使用量,降低了成本,减少了废水系统处理负荷。 | ||
搜索关键词: | 一种 研磨 回收 再利用 系统 | ||
【主权项】:
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