[实用新型]一种晶圆超净空间隔离盒内的固定架

摘要

本实用新型涉及晶圆片固定技术领域，且公开了一种晶圆超净空间隔离盒内的固定架，包括存放盒，所述存放盒底部的左右两侧均固定安装有电动推杆。该晶圆超净空间隔离盒内的固定架，通过上抬位于上端的隔板，使限位套杆与限位插杆分离，接着将晶圆片卡在底座的顶端，转动转动环，使螺杆转动，推动移动套杆下移，当与晶圆片接触时，底座就会下压，将伸缩杆以及连接弹簧压缩，通过伸缩杆和连接弹簧的缓冲形变上推底座，使底座与下压板之间具有一定的挤压力，并通过在底座与下压板上均设有弹性垫，使晶圆片可以稳定的夹在底座与下压板之间，从而有效避免设备在晃动的过程中，因为晶圆片的移位而受到粉尘污染，使得设备使用更加方便。