[实用新型]石墨舟预热冷却系统及石墨舟预热与炉体冷却系统

摘要

本实用新型公开了石墨舟预热冷却系统及石墨舟预热与炉体冷却系统。预热冷却系统包括半导体加热单元、预热箱和缓存架，半导体热端设有热媒输出管和热媒输入管，冷端设有冷媒输出管和冷媒输入管，预热箱内壁设有热媒管道，其两端分别与热媒输出管的热媒输入管接通，缓存架的缓存位上设有冷媒管道，其两端分别与冷媒输出管和冷媒输入管接通。预热与炉体冷却系统包括半导体加热单元、预热箱和炉体，预热箱内壁设有热媒管道，其两端分别与热媒输出管的热媒输入管接通，炉体外周设有冷媒管道，其两端分别与冷媒输出管和冷媒输入管接通。利用半导体热端对工艺前石墨舟预热，冷端对工艺后的石墨舟冷却，或者冷端对炉体外周冷却，防止炉体外周温度过高。