[实用新型]一种电磁式MEMS扭转微镜有效
| 申请号： | 202021855942.5 | 申请日： | 2020-08-31 |
| 公开（公告）号： | CN213182194U | 公开（公告）日： | 2021-05-11 |
| 发明（设计）人： | 秦毅;王福杰;姚智伟;任斌;郭芳 | 申请（专利权）人： | 东莞理工学院 |
| 主分类号： | G02B26/08 | 分类号： | G02B26/08 |
| 代理公司： | 北京翔石知识产权代理事务所(普通合伙) 11816 | 代理人： | 李勇 |
| 地址： | 523808 广东省*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种电磁式MEMS扭转微镜，包括微镜反射镜面、弹性梁、驱动线圈、框架和基座，其中：所述微镜反射镜面与所述框架通过所述弹性梁连接；所述弹性梁与所述微镜反射镜面连接，用以固定连接所述微镜反射镜面与框架；所述驱动线圈设置在所述基座上，用以对所述微镜反射镜面提供驱动力；所述框架用以固定所述微镜反射镜面；所述基座设置在所述微镜反射镜面所在的平面上。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 电磁式 mems 扭转 | ||
【主权项】：
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