[实用新型]一种晶圆弯曲度检测装置有效
| 申请号： | 202021861104.9 | 申请日： | 2020-08-31 |
| 公开（公告）号： | CN212843506U | 公开（公告）日： | 2021-03-30 |
| 发明（设计）人： | 巩铁建;陶为银 | 申请（专利权）人： | 河南通用智能装备有限公司 |
| 主分类号： | G01B21/22 | 分类号： | G01B21/22 |
| 代理公司： | 郑州中原专利事务所有限公司 41109 | 代理人： | 范小方 |
| 地址： | 450001 河南省郑州市高新技术产业*** | 国省代码： | 河南;41 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种晶圆弯曲度检测装置，包括底座、承载平台和下侧伸缩杆，所述底座上方固定安装有承载平台，所述检测箱前侧面上开设有开口，检测箱顶面内侧安装有竖向滑动机构和横向滑动机构，所述竖向滑动机构和横向滑动机构分别与竖向扫描架和横向扫描架连接在一起，且横向扫描架和竖向扫描架底端设置有测量头，所述承载平台上表面中心处固定有测量平台，且测量平台左上角安装有定位件，所述下侧伸缩杆上下两端分别连接第一转动机构和第二转动机构。该晶圆弯曲度检测装置，结构设置合理，通过设置定位件、横向扫描架和竖向扫描架，在检测时不需要对晶圆中心点进行定位，降低操作难度，增大可检测晶圆范围，提高晶圆弯曲度的检测精度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 弯曲 检测 装置 | ||
【主权项】：
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