[实用新型]一种用于真空装置的液冷电极棒

摘要

本实用新型涉及涂层设备技术领域，尤其是指一种用于真空装置的液冷电极棒，其包括真空装置、电极棒本体、发热件固定部件和内芯管件，电极棒本体内部设有第一流液通道，内芯管件安装于第一流液通道内，内芯管件设有第二流液通道，第一流液通道与第二流液通道连通，冷却液依次流经第一流液通道和第二流液通道，电极棒本体接入电源电流，发热件固定部件安装于电极棒本体的端部。流动的冷却液对电极棒本体深入冷却，能够加速冷却，冷却效果好，有效避免电极棒烧坏，延长电极棒的使用寿命，发热件固定部件安装于电极棒本体的上端，发热件通过发热件固定部件与电极棒本体连接，使得电极棒本体与发热件合理连接，实现稳定供电和均匀发热。