[实用新型]一种带有发热丝拉紧件的真空热源结构有效
申请号: | 202021871963.6 | 申请日: | 2020-08-31 |
公开(公告)号: | CN213388885U | 公开(公告)日: | 2021-06-08 |
发明(设计)人: | 王俊锋;袁明;谢文荣;秦兴耀;王锋 | 申请(专利权)人: | 广东鼎泰机器人科技有限公司 |
主分类号: | C23C16/27 | 分类号: | C23C16/27;C23C16/52;B25B25/00 |
代理公司: | 东莞市华南专利商标事务所有限公司 44215 | 代理人: | 袁敏怡 |
地址: | 523000 广东省东*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本实用新型涉及涂层设备技术领域,尤其是指一种带有发热丝拉紧件的真空热源结构,其包括真空罩、发热丝拉紧件以及设置于真空罩内的热源组件,热源组件包括热丝网件,热丝网件包括热丝网架以及均布于热丝网架的多个发热丝,热丝网架设置于真空罩内部,发热丝拉紧件固定安装于热丝网架,发热丝拉紧件用于拉紧多个发热丝。通过发热丝拉紧件进行拉紧,控制多个发热丝的张紧度保持一致,实现沉积温度均匀,使得发热均匀,刀具刀刃不同位置的沉积温度保持一致,刀具刀刃受热均匀,避免刀柄出现黑化现象,大大提高良品率。 | ||
搜索关键词: | 一种 带有 发热 拉紧 真空 热源 结构 | ||
【主权项】:
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C23 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的