[实用新型]一种靶材高使用率的平面阴极

摘要

本实用新型公开了一种靶材高使用率的平面阴极，包括屏蔽板、磁钢组件和靶材固定件，所述磁钢组件设置在屏蔽板的屏蔽槽内，所述磁钢组件包括安装座、靶壳和磁体，所述安装座的下端设置有两条轨道板，轨道板位于靶壳两侧，轨道板朝向靶壳的侧壁上设置有轨道槽，轨道槽中设置有齿条，靶壳的上端两侧分别固定有若干电机，所述电机的机轴上设置有与齿条啮合的齿轮，靶壳通过电机支撑安装在安装座下方。本实用新型具有的优点是靶壳安装在安装座下方的轨道槽内，通过启动电机，使得靶壳可以沿轨道槽做往返运动，磁体的延伸方向垂直于轨道槽，靶壳带动下方的磁体运动，从而使得轰击位置可以更换，调节强轰击面，使得靶材使用率得到提升，降低了生产成本。