[实用新型]一种用于消除晶锭内应力的装置有效
| 申请号： | 202021885273.6 | 申请日： | 2020-09-01 |
| 公开（公告）号： | CN213835629U | 公开（公告）日： | 2021-07-30 |
| 发明（设计）人： | 李帅;赵建国;李乃庆 | 申请（专利权）人： | 山东天岳先进科技股份有限公司 |
| 主分类号： | C30B33/00 | 分类号： | C30B33/00;C30B29/36;C30B30/06 |
| 代理公司： | 北京君慧知识产权代理事务所(普通合伙) 11716 | 代理人： | 刘晓佳 |
| 地址： | 250118 山*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本申请公开了一种用于消除晶锭内应力的装置，包括：振动台，所述振动台上设置有低频振动区和超声振动区，所述低频振动区的振动频率小于500Hz，所述超声振动区的振动频率大于20kHz，所述晶锭依次在所述低频振动区和所述超声振动区进行振动处理。本申请提供的用于消除晶锭内应力的装置，使得晶锭依次经过低频共振时效处理和超声波处理，其中低频共振时效处理在起到释放晶锭内部分残存应力的同时，还能使残存于晶锭内部的应力得到均化，以减少晶锭内应力较大的点位或减轻该点位处的应力，有效防止因晶锭内部存在应力较大点位而造成的晶锭开裂。与现有技术相比，本申请提供的装置操作简单，处理快速，并能够显著提升碳化硅晶锭内应力的消除效果。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 消除 内应力 装置 | ||
【主权项】：
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