[实用新型]磁控溅射旋转阴极有效
| 申请号： | 202021898898.6 | 申请日： | 2020-09-03 |
| 公开（公告）号： | CN213086094U | 公开（公告）日： | 2021-04-30 |
| 发明（设计）人： | 李忠 | 申请（专利权）人： | 成都齐荣科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 610100 四川省成都市经济技*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了磁控溅射旋转阴极，包括安装座、外接管、内接管和固定座，所述外接管一端与安装座旋转连接，另一端经一靶管与固定座旋转连接，所述内接管一端固定在安装座上，另一端经一芯管与固定座连接，所述的固定座呈圆盖状，其盖口沿边上设置有一圈安装槽，所述靶管即插入安装槽，所述固定座的底部设置有一环形槽，所述靶管的内壁上设置有螺旋状的导水槽。本实用新型具有的优点是将冷却水流道转向处，即芯管、靶管和固定座三者连接处，设计成散射状的曲道，方便冷却水的流动，使得冷却水不易积压，该处不会有过大的水压，并且靶管上的螺旋槽，在旋转时，产生一定的负压，将连接结构处的冷却水吸走，进一步降低了连接处的水压。 | ||
| 搜索关键词： | 磁控溅射 旋转 阴极 | ||
【主权项】：
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