[实用新型]一种石英坩埚移动装置有效
| 申请号： | 202021900355.3 | 申请日： | 2020-09-03 |
| 公开（公告）号： | CN213415465U | 公开（公告）日： | 2021-06-11 |
| 发明（设计）人： | 邵勇;贺贤汉;陈卫芳;叶国卿;冯博;谢金谷 | 申请（专利权）人： | 上海汉虹精密机械有限公司 |
| 主分类号： | B65G47/90 | 分类号： | B65G47/90 |
| 代理公司： | 上海申浩律师事务所 31280 | 代理人： | 吕琳琳 |
| 地址： | 200444 上海市宝*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种石英坩埚移动装置，目的是石英坩埚切断工序中，有搬运，测量，切割，清洗等多个工位，全程需要夹持坩埚进行作业，根据工序要求，坩埚旋转，升降，水平移动到预定位置。此机构用电动三爪卡盘夹持坩埚，用伺服电机扭矩控制模式控制夹紧力。另一端通过气动离合器的开启连接上旋转电机带动该机构旋转。此机构安装在升降板上，通过旋转型丝杆，配合四根导向轴做升降运动。此机构通过齿轮齿条和导轨的组合可以实现长距离水平搬运移动。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 石英 坩埚 移动 装置 | ||
【主权项】：
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