[实用新型]清洗离子源挡板有效

专利信息
申请号: 202021905526.1 申请日: 2020-09-02
公开(公告)号: CN213388859U 公开(公告)日: 2021-06-08
发明(设计)人: 乔利杰;宋述兵;王瑞俊;王博 申请(专利权)人: 山东司莱美克新材料科技有限公司
主分类号: C23C14/02 分类号: C23C14/02;C23C14/46
代理公司: 淄博市众朗知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 37316 代理人: 程强强
地址: 256401 山东省*** 国省代码: 山东;37
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要: 实用新型公开了清洗离子源挡板,包括离子源、第一驱动气缸、第二驱动气缸、第一挡板和第二挡板,所述离子源的后侧面的两侧顶端分别固定安装有第一驱动气缸和第二驱动气缸,所述第一驱动气缸上转动安装有第一旋转轴,所述第二驱动气缸上转动安装有第二旋转轴。本实用新型通过加装第一挡板和第二挡板,在第一驱动气缸和第二驱动气缸的驱动下可发生偏转,将离子源完全遮蔽或者暴露,具有结构简单以及成本低廉的特点,能够有效保护离子源沟道免受污染,提高离子源的使用周期;通过设置第一锁块与第二锁块,在打开装置或闭合装置时,只需移动定位柱,就能使第一锁块与第二锁块分开或锁定,其结构巧妙,操作简单,能够防止挡板之间出现间隙。
搜索关键词: 清洗 离子源 挡板
【主权项】:
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于山东司莱美克新材料科技有限公司,未经山东司莱美克新材料科技有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/202021905526.1/,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top