[实用新型]一种晶圆的晶背宏观检查装置

摘要

本实用新型公开了一种晶圆的晶背宏观检查装置，检查装置包括固定架、晶背翻转盘、Z轴传动模组和θ轴传动模组，固定架包括横板和竖板，Z轴传动模组包括Z轴电机、两个Z轴同步轮、Z轴同步带和滑行平台，Z轴电机和Z轴同步轮均固定在竖板上，两个Z轴同步轮间设有Z轴同步带，Z轴同步带通过夹块夹紧在滑行平台上，滑行平台上端设有极限卡块，滑行平台侧边固定有极限感应片和竖板上设有的若干个极限传感器进行配合，θ轴传动模组固定安装在滑行平台上，θ轴传动模组包括θ轴电机、θ轴同步轮和θ轴同步带，晶背翻转盘安装固定在θ轴同步轮上。本实用新型用于宏观检查晶圆晶背形貌。