[实用新型]高分辨率距离传感器像素结构及距离传感器

摘要

本实用新型提出了一种高分辨率距离传感器像素结构及距离传感器，所述像素结构为前照式结构，其包括多个像素组；单个像素组内包括多个单光子雪崩电路结构、处理电路及浅隔离层；处理电路围绕在多个单光子雪崩电路结构外围，相邻的单光子雪崩电路结构之间由浅隔离层隔离，浅隔离层隔离处理电路与单光子雪崩电路结构；同一像素组内单光子雪崩电路结构共用一DNW或DPW。将多个SPAD组成一像素组，同一像素组内的多个SPAD共用一个DNW或DPW，并且共用外围的处理电路，结构紧凑，面积可大幅缩小，且无需太多面积和空间满足DNW或DPW的设计规则，便于将像素间距缩小，从而实现像素阵列的高分辨率。