[实用新型]一种半导体检测用基于磁光效应的成像椭偏仪有效
| 申请号： | 202021921283.0 | 申请日： | 2020-09-07 |
| 公开（公告）号： | CN213209897U | 公开（公告）日： | 2021-05-14 |
| 发明（设计）人： | 黎君玲;张弓 | 申请（专利权）人： | 张弓 |
| 主分类号： | G01N21/21 | 分类号： | G01N21/21;G01B11/06;G01B11/24 |
| 代理公司： | 广州人才汇进知识产权代理事务所(普通合伙) 44763 | 代理人： | 袁翔 |
| 地址： | 510000 广东省*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种半导体检测用基于磁光效应的成像椭偏仪，包括机箱，所述机箱的顶部固定连接有成像椭偏仪本体，所述机箱的右侧固定连接有驱动电机，所述驱动电机的输出轴固定连接有螺纹杆，所述螺纹杆的表面套设有螺纹套，所述螺纹套的顶部固定连接有安装板。本实用新型通过驱动电机、螺纹杆、螺纹套、安装板、液压伸缩缸、转轮、连接杆、微型电机、传动机构和放置槽的配合，驱动电机的输出轴通过螺纹杆带动螺纹套左右移动，通过液压伸缩缸带动转轮上下移动，调节高度，微型电机的输出轴通过齿轮和圆形齿牙板带动转轮旋转，调节被测物体的角度，从而达到测量精准度高的效果，解决了现有装置测量精准度低的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 半导体 检测 基于 磁光效应 成像 椭偏仪 | ||
【主权项】：
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